Dual Channel Chiller UH3A

Der Dual Channel Chiller wurde speziell nach den Bedürfnissen der Halbleiter produzierenden Industrie entwickelt.
Seit vielen Jahren im 24h-Betrieb in der Produktion eingesetzt, zeichnet er sich durch viele Vorteile aus…

VORTEILE:

• Hohe Zuverlässigkeit
  

• Große Standzeiten
  

• Übersichtliche Bauweise
  

• Leichte Wartung, einfache Bedienung
  

• Automatische Nachdosierung der Prozessflüssigkeit
  

• Redundante Energieversorgung durch integrierten    
  

• USV-Anschluss
  

• Wärmetauscher pro Kreis für höhere Lebensdauer des Deionizers
  

• Kein Stillstand durch Flüssigkeitsmangel aufgrund automatischer Nachdosierung der Prozessflüssigkeit
  

• Kein Stillstand bei Wechsel des Deionizers durch installierte Absperrventile
  

Technische Daten:

• Temperaturbereich von 30°C – 90°C
  

• Durchflussmenge bis zu 26 Liter/min
  

• Betriebsdruck bis 3,8 bar
  

• Betriebsspannung 3x 400V, N / 50 Hz
  

• Leistungen einstellbar von 1500 W bis 7000 W
  

• 2 voneinander getrennte Temperierkreise
  

• Schnittstellen zur Ätzanlage vorkonfiguriert
  

• Lokal oder Remotebetrieb
  

• IAG-Deionizer oder wahlweise andere Deionizer mit dazupassenden Anschlüssen
  

• Automatische Flüssigkeits-Nachdosierung