Dual Channel Chiller UH3A
Der Dual Channel Chiller wurde speziell nach den Bedürfnissen der Halbleiter produzierenden Industrie entwickelt.
Seit vielen Jahren im 24h-Betrieb in der Produktion eingesetzt, zeichnet er sich durch viele Vorteile aus…
VORTEILE:
Hohe Zuverlässigkeit
Große Standzeiten
Übersichtliche Bauweise
Leichte Wartung, einfache Bedienung
Automatische Nachdosierung der Prozessflüssigkeit
Redundante Energieversorgung durch integrierten
USV-Anschluss
Wärmetauscher pro Kreis für höhere Lebensdauer des Deionizers
Kein Stillstand durch Flüssigkeitsmangel aufgrund automatischer Nachdosierung der Prozessflüssigkeit
Kein Stillstand bei Wechsel des Deionizers durch installierte Absperrventile
Technische Daten:
Temperaturbereich von 30°C – 90°C
Durchflussmenge bis zu 26 Liter/min
Betriebsdruck bis 3,8 bar
Betriebsspannung 3x 400V, N / 50 Hz
Leistungen einstellbar von 1500 W bis 7000 W
2 voneinander getrennte Temperierkreise
Schnittstellen zur Ätzanlage vorkonfiguriert
Lokal oder Remotebetrieb
IAG-Deionizer oder wahlweise andere Deionizer mit dazupassenden Anschlüssen
Automatische Flüssigkeits-Nachdosierung